產地類別:進口 | 供應商性質:生產商 |
Ionfab 300 IBE
離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應用范圍廣。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實際應用緊密協(xié)調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。
多模式功能
能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成
單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
雙束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均勻性和工藝重復性
精確終點監(jiān)測 —— SIMS,發(fā)射光譜
Ionfab 300 IBD
客戶選擇我們的離子束沉積產品是因為它們能夠生產具有高質量,致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法,并可在同一設備上實現(xiàn), 因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)規(guī)格與實際應用緊密協(xié)調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。
多模式功能
能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成
單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
雙束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均勻性和工藝重復性
精確終點監(jiān)測 —— SIMS,發(fā)射光譜
牛津儀器Ionfab300刻蝕和沉積設備 雙束流配置由牛津儀器科技(上海)有限公司為您提供,如您想了解更多關于 牛津儀器Ionfab300刻蝕和沉積設備 雙束流配置 報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
注:該產品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關用途。