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牛津儀器科技(上海)有限公司
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牛津儀器Ionfab300刻蝕和沉積設備 雙束流配置

參考報價:面議 品牌:牛津儀器 產地:英國 型號:Ionfab300 樣本:來電或留言獲取樣本
AI問答
  • 可以做哪些實驗,檢測什么? 可以用哪些耗材和試劑?
  • 多少錢一臺? 參數(shù)細節(jié)是什么?
  • 使用的注意事項? 操作規(guī)程?
參數(shù)規(guī)格
產地類別:進口 供應商性質:生產商
產品介紹

Ionfab 300 IBE

離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應用范圍廣。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實際應用緊密協(xié)調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。

  • 多模式功能

  • 能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成

  • 單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作

  • 雙束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均勻性和工藝重復性

  • 精確終點監(jiān)測 —— SIMS,發(fā)射光譜


Ionfab 300 IBD

客戶選擇我們的離子束沉積產品是因為它們能夠生產具有高質量,致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法,并可在同一設備上實現(xiàn), 因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)規(guī)格與實際應用緊密協(xié)調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。

  • 多模式功能

  • 能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成

  • 單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作

  • 雙束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均勻性和工藝重復性

  • 精確終點監(jiān)測 —— SIMS,發(fā)射光譜


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注:該產品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關用途。

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