ISO 20411:2018
表面化學分析.二次離子質譜法.單離子計數(shù)動態(tài)二次離子光譜法中飽和強度的校正方法
Surface chemical analysis - Secondary ion mass spectrometry - Correction method for saturated intensity in single ion counting dynamic secondary ion mass spectrometry
- 標準號
- ISO 20411:2018
- 發(fā)布
- 2018年
- 總頁數(shù)
- 22頁
- 發(fā)布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 20411:2018
- 引用標準
- ISO 18115-1:2013 ISO 18115-2:2013
- 適用范圍
- 本文件規(guī)定了一種在脈沖計數(shù)磁扇形二次離子質譜儀或四極二次離子質譜儀中確定強度尺度線性可接受偏差極限的最大計數(shù)率的方法。 它使用基于參考材料中兩種同位素深度剖面分析的測試，該參考材料在低濃度和高濃度范圍之間具有逐漸的濃度變化。 它還包括對探測器死區(qū)時間引起的飽和強度的校正方法。 校正可以增加 95% 線性度的強度范圍，以便對于相關校正方程已被證明有效的那些光譜儀可以采用更高的最大計數(shù)率。 本文件不適用于飛行時間質譜儀。 本文件僅適用于含有少量同位素的元素。 如果元素是單一同位素或含有相同豐度的同位素，則不適用。