GB/T 30857-2014
藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
GBT30857-2014, GB30857-2014
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 30857-2014
- 別名
- GBT30857-2014, GB30857-2014
- 發(fā)布
- 2014年
- 總頁數(shù)
- 6頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 30857-2014
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 14264
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定「制備氮化稼薄膜外延片及其他用途的藍寶石單晶切割片、研磨片、拋光片〈簡稱襯底片)厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍寶石襯底片厚度及厚度變化的測試。