本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定「制備氮化稼薄膜外延片及其他用途的藍(lán)寶石單晶切割片、研磨片、拋光片〈簡稱襯底片)厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化的測試。
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