本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直流四探針法測(cè)量鍺單晶電阻率的方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量試樣厚度和從試樣邊緣與任一探針端點(diǎn)的最近距離二者均大于探針間距的4倍鍺單晶的電阻率及測(cè)量直徑大于探針間距的10倍、厚度小于探針間距4倍鍺單晶圓片的電阻率。測(cè)量范圍為1×10-3Ω?cm~1×102Ω?cm。
四探針法測(cè)量裝置 符合標(biāo)準(zhǔn)要求的直流恒流源和電壓表 | 包括四個(gè)探針、恒流源、電壓表等組件,用于精確施加電流并測(cè)量電壓。 |
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