應(yīng)用范圍 化學(xué)工業(yè) 電子與微電子領(lǐng)域 氣相沉積 電子束焊接 真空冶金 性能特點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn): 較大的測量范圍 較好的重現(xiàn)性 制作成本較低,價(jià)格比較合適 較快的相應(yīng)時(shí)間 缺點(diǎn): 不同的氣體類型影響測量精度(通常要以氮?dú)饣蚩諝庑?zhǔn)) 測量對(duì)污染敏感的...
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