ISO 13095:2014
表面化學(xué)分析. 原子力顯微鏡學(xué). 納米結(jié)構(gòu)測量用AFM探針柄輪廓的現(xiàn)場鑒定程序
Surface Chemical Analysis - Atomic force microscopy - Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- ISO 13095:2014
- 發(fā)布
- 2014年
- 總頁數(shù)
- 32頁
- 發(fā)布單位
- 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織
- 當(dāng)前最新
- ISO 13095:2014
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 11039:2012 ISO 11952:2014 ISO 18115-2:2010 ISO/TS 80004-4:2011
- 適用范圍
- 本國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了兩種表征 AFM 探針尖端形狀的方法，特別是柄部和近似尖端輪廓。 這些方法將 AFM 探針尖端的輪廓投影到給定的平面上，并且在定義的操作條件下探針柄的特性也投影到該平面上。 后者表明給定探頭在狹窄溝槽和類似剖面中的深度測量的有用性。 本國際標(biāo)準(zhǔn)適用于半徑大于50的探頭，其中uo是用于表征探頭的參考樣品中脊結(jié)構(gòu)寬度的不確定度。