VDI 2083 Blatt 13.1-2009
潔凈室技術(shù) 超純水的質(zhì)量、生產(chǎn)和分配 基礎(chǔ)知識

Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Fundamentals

標(biāo)準(zhǔn)號

VDI 2083 Blatt 13.1-2009

發(fā)布

2009年

發(fā)布單位

德國機械工程師協(xié)會

當(dāng)前最新

VDI 2083 Blatt 13.1-2009

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

DIN 10192-1:1984 DIN 11850:1999 DIN 11864-1:2006 DIN 11864-2:2006 DIN 1301-1:2002 DIN 1314:1977 DIN 19645:2006 DIN 25416-2:1996 DIN 32676:2001 DIN 32676:2007 DIN 32736:2000 DIN 38404-10:1995 DIN 38404-3:2005 DIN 38409-6:1986 DIN 38409-7:2005 DIN 54400-200

被代替標(biāo)準(zhǔn)

VDI 2083 Blatt 13.1-2008

適用范圍

本指南的目的是總結(jié)有關(guān)用于生產(chǎn)和分配超純水的水處理廠的規(guī)劃、建設(shè)、運營和監(jiān)測的知識。本指南適用于高純度要求工藝（例如潔凈室技術(shù)中使用的工藝）的超純水的質(zhì)量要求、生產(chǎn)和供應(yīng)。類似的過程和系統(tǒng)用于發(fā)電廠技術(shù)和核電廠技術(shù)，但這些不是本指南的主題，因為它們在其他地方進(jìn)行了描述。超純水用于各種應(yīng)用，一方面用于清潔過程，另一方面用于將濃縮的超純化學(xué)品稀釋至工作溶液濃度，或者用于要制造的產(chǎn)品。例如， B. 在進(jìn)行敏感工作流程之前，用超純水清潔受污染的表面。對用于此目的的超純水在使用過程中的顆粒、化學(xué)和生物純度方面提出了很高的要求。在微電子/半導(dǎo)體技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域，重點是由于結(jié)構(gòu)尺寸的減小而盡可能多地去除顆粒、化學(xué)和生物污染物。在生命科學(xué)領(lǐng)域，重點主要是去除微生物和顆粒污染物，并將離子負(fù)荷和有機成分減少到指定限度。在生物技術(shù)領(lǐng)域，特別是分子生物學(xué)領(lǐng)域，微電子/半導(dǎo)體技術(shù)和制藥用水中的污染得到了減少，但其他污染物，例如水， B. 酶和核酸發(fā)揮了作用，但這里不會進(jìn)一步討論它們，因為它們也在其他地方受到調(diào)節(jié)。在生命科學(xué)領(lǐng)域，必須遵守相關(guān)的國家和國際法律法規(guī)。所使用的超純水系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下： 處理，包括預(yù)處理 儲存和分配 使用，包括質(zhì)量監(jiān)測 超純水處理所需的工藝步驟以及系統(tǒng)結(jié)構(gòu)是根據(jù)現(xiàn)有原水分析確定的，而原水分析受當(dāng)?shù)爻兯畻l件的影響具體應(yīng)用中指定的水目標(biāo)分析。環(huán)境技術(shù)框架條件，例如B. 減少化學(xué)品使用的要求以及特定地點的水成本和其他運營成本也會影響各個工藝步驟的選擇。存儲和分配由當(dāng)?shù)匕惭b條件和連接的使用單位決定。一般來說，必須從多種可能的解決方案中開發(fā)出經(jīng)濟(jì)的解決方案。*www.vdi.de/2083

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