ISO 14644-5:2004
潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境.第5部分:操作
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
- 標準號
- ISO 14644-5:2004
- 發(fā)布
- 2004年
- 總頁數(shù)
- 52頁
- 中文版
- GB/T 25915.5-2010 (等同采用的中文版本)
- 發(fā)布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-5:2004
- 引用標準
- ISO 14644-1:1999 ISO 14644-2:2000 ISO 14644-3 ISO 14644-4:2001 ISO 14698-1:2003 ISO 14698-2:2003
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分規(guī)定了潔凈室操作的基本要求。 它適用于那些計劃使用和操作潔凈室的人。 ISO 14644 的本部分不考慮與污染控制沒有直接關(guān)系的安全方面，必須遵守國家和當?shù)氐陌踩ㄒ?guī)。 本文件考慮了用于生產(chǎn)所有類型產(chǎn)品的所有類別的潔凈室。 因此，它的應(yīng)用范圍很廣，并沒有解決個別行業(yè)的特定要求。 ISO 14644 的本部分未詳細介紹潔凈室內(nèi)常規(guī)監(jiān)測的方法和程序，但參考 ISO 14644-2 和 ISO 14644-3 監(jiān)測顆粒，參考 ISO 14698-1 和 ISO 14698-2 監(jiān)測微量元素。 有機體。
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