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利用光刻膠下面的金屬進(jìn)行電鍍,將光刻膠圖形上的間隙用金屬填充,形成一個(gè)與光刻膠圖形凹凸互補(bǔ)的金屬凹凸版圖,將光刻膠及附著的基底材料除掉,就得到鑄塑用的金屬模具。通過(guò)金屬注塑版上的小孔將塑料注入金屬模具腔體內(nèi),加壓硬化后就得到與掩膜結(jié)構(gòu)相同塑料芯片。通常以聚甲基丙烯酸甲酯作為塑鑄材料。四. 封接技術(shù)1....
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利用光刻膠下面的金屬進(jìn)行電鍍,將光刻膠圖形上的間隙用金屬填充,形成一個(gè)與光刻膠圖形凹凸互補(bǔ)的金屬凹凸版圖,將光刻膠及附著的基底材料除掉,就得到鑄塑用的金屬模具。通過(guò)金屬注塑版上的小孔將塑料注入金屬模具腔體內(nèi),加壓硬化后就得到與掩膜結(jié)構(gòu)相同塑料芯片。通常以聚甲基丙烯酸甲酯作為塑鑄材料。...
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