BS ISO 20341:2003
表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜法.多δ層標(biāo)準(zhǔn)材料深度溶解參數(shù)的估算方法

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號

BS ISO 20341:2003

發(fā)布

2003年

發(fā)布單位

英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會

替代標(biāo)準(zhǔn)

BS ISO 20341:2003(2010)

當(dāng)前最新

BS ISO 20341:2003(2010)

 

 

被代替標(biāo)準(zhǔn)

02/122923 DC:2002

適用范圍

本國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在使用多個 Delta 層參考材料的 SIMS 深度剖析中估計三個深度分辨率參數(shù)（即前沿衰減長度、后沿衰減長度和高斯展寬）的程序。 2 本國際標(biāo)準(zhǔn)不適用于三角洲層，因為近地表區(qū)域的化學(xué)和物理狀態(tài)因入射初級離子的改變而未處于穩(wěn)定狀態(tài)。

專題

BS ISO 20341:2003相似標(biāo)準(zhǔn)