ISO 17974:2002
表面化學(xué)分析.高分辨率螺旋電子光譜儀.元素和化學(xué)狀態(tài)分析用能量標(biāo)度的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis - High-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis

適用范圍: 本國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于表面元素和化學(xué)狀態(tài)分析的俄歇電子能譜儀動能標(biāo)度的校準(zhǔn)方法。它還指定了一個校準(zhǔn)計劃，用于測試一種中間能量下的動能標(biāo)度線性度，用于確認一個低動能值和一個高動能值下的標(biāo)度校準(zhǔn)的不確定度，用于校正該標(biāo)度的小漂移以及定義擴展的不確定度動能標(biāo)度的校準(zhǔn)，置信度為 95%（這種不確定性包括實驗室間研究中觀察到的行為的貢獻，但不涵蓋所有可能的缺陷）。它僅適用于那些配有離子槍進行濺射清潔的儀器。它不適用于動能標(biāo)度誤差與能量呈顯著非線性關(guān)系的儀器。它既不適用于在恒定 ΔEIE 模式下相對分辨率低于 0.2 % 或在恒定 ΔE 模式下低于 1.5 eV 的儀器，也不適用于要求容差限值為 ±0.05 eV 或更低的儀器，也不適用于那些要求 ±0.05 eV 或更小的儀器。那些帶有不能在 5 keV 至 10 keV 能量范圍內(nèi)操作的電子槍的電子槍。它不提供完整的校準(zhǔn)檢查來確認能量標(biāo)尺上每個可尋址點測量的能量，這是根據(jù)制造商的建議執(zhí)行的。

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