JIS K 0149-1:2008
微光束分析.掃描電子顯微鏡法.校準圖像放大指南

Microbeam analysis -- Scanning electron microscopy -- Guidelines for calibrating image magnification

標準號

JIS K 0149-1:2008

發(fā)布

2008年

發(fā)布單位

日本工業(yè)標準調(diào)查會

當前最新

JIS K 0149-1:2008

 

 

引用標準

JIS Q 0030 JIS Q 0034 JIS Q 0035 JIS Q 17025

適用范圍

本標準規(guī)定了使用有證標準物質(zhì)（以下簡稱CRM）或標準物質(zhì)（以下簡稱RM）校準掃描電子顯微鏡（以下簡稱SEM）圖像放大倍數(shù)的方法。但本標準不適用于CD-SEM。然而，該標準的校準放大倍數(shù)范圍受到所使用的 CRM 或 RM 的限制。

專題

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