表1 分子泵低溫泵共同抽氣數(shù)據(jù)表2 分子泵單獨(dú)抽氣數(shù)據(jù) 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,引入低溫泵后,容器真空度有顯著提高,但低溫泵對容器本底幾乎沒有影響,低溫泵對系統(tǒng)的有效檢漏靈敏度幾乎沒有影響。?結(jié)論 根據(jù)本文的研究可以得出結(jié)論,以低溫泵為主泵的檢漏系統(tǒng)中,低溫泵對氦氣的分流很小,因此低溫泵的引入對系統(tǒng)有效檢漏靈敏度影響很小。...
低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。 注入式液氦低溫泵 主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗,液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到帕壓力時(shí)灌入液氮和液氦,氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到帕數(shù)量級,故泵可獲得帕以下的極限壓力。...
,真空系統(tǒng)都會(huì)有泵組在抽真空,所以在泵的進(jìn)氣口處連接氦質(zhì)譜檢漏儀是在氣流的運(yùn)動(dòng)方向上,很容易有一部分分壓分給氦質(zhì)譜檢漏儀,從而達(dá)到檢漏的效果。?...
一般說來,泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí),水的蒸氣壓已低于帕。溫度為20K時(shí),除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器,低溫板為20K時(shí),泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。...
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