T/GVS 005-2022
半導(dǎo)體裝備用絕壓電容薄膜真空計比對法測試規(guī)范
Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- T/GVS 005-2022
- 發(fā)布
- 2022年
- 發(fā)布單位
- 中國團體標(biāo)準(zhǔn)
- 當(dāng)前最新
- T/GVS 005-2022
- 適用范圍
- 規(guī)定了半導(dǎo)體裝備用絕壓電容薄膜真空計比對法測試的術(shù)語和定義、符號和縮略語、總則、測試條件要求、精度測試、重復(fù)性精度測試、零點、滿度溫度系數(shù)測試、數(shù)據(jù)處理、復(fù)測時間。適用于測量范圍在0.01 Pa～100 kPa的半導(dǎo)體裝備用絕壓電容薄膜真空計比對法測試。