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今后發(fā)展和改進(jìn)的主要方向是：提高質(zhì)譜分辨率，以減少和排除二次離子質(zhì)譜干擾；實(shí)現(xiàn)多種質(zhì)譜粒子探測(cè)，以獲得樣品和多種粒子的信息和資料；定量分析和離子濺射機(jī)理的研究；新型液態(tài)金屬離子源的應(yīng)用；離子探針與多種儀器（如X 射線光電子能譜、紫外光電子能譜、俄歇電子能譜）聯(lián)用等[1]。???...
而筒鏡型能量分析器由于對(duì)俄歇電子的傳輸效率高,主要用在俄歇電子能譜儀上。對(duì)于一些多功能電子能譜儀,由于考慮到XPS和AES的共用性和使用的側(cè)重點(diǎn),選用能量分析器的主要依據(jù)是哪一一種分析方法為主。以XPS為主的采用半球型能量分析器,而以俄歇為主的則采用筒鏡型能量分析器。七、檢測(cè)器系統(tǒng)光電子能譜儀中被檢測(cè)的電子流非常弱,一般在10-13A/s～10-19A/s,所以現(xiàn)在多采用電子倍增器加計(jì)數(shù)技術(shù)。...
能譜分析：主要包括X射線光電子能譜XPS和俄歇電子能譜法AES ?。?）X射線光電子能譜(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) X射線光電子能譜(XPS )就是用X射線照射樣品表面，使其原子或分子的電子受激而發(fā)射出來(lái)，測(cè)量這些光電子的能量分布，從而獲得所需的信息。...
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