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T/GVS 007-2022
射頻電源動態(tài)阻抗測試方法

Test method for dynamic impedance of RF generator


標(biāo)準(zhǔn)號
T/GVS 007-2022
發(fā)布
2022年
總頁數(shù)
19頁
發(fā)布單位
中國團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
當(dāng)前最新
T/GVS 007-2022
 
 
適用范圍
規(guī)定了射頻電源動態(tài)阻抗測試方法的術(shù)語和定義、原理、測試環(huán)境條件、儀器設(shè)備、測試方法、測試報(bào)告。適用于半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積等應(yīng)用場合中,輸出頻率0.2 MHz~100 MHz的射頻電源動態(tài)阻抗測試。

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T/GVS 007-2022 中可能用到的儀器設(shè)備





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