ASTM E986-97
掃描電子顯微鏡光束尺寸表征的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐

Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

ASTM E986-97

發(fā)布

1997年

發(fā)布單位

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E986-04

當(dāng)前最新

ASTM E986-04(2024)

 

 

適用范圍

1.1 這種做法提供了一種可重復(fù)的方法來(lái)表征掃描電子顯微鏡（SEM）的性能。該性能是 SEM-操作員-材料組合的衡量標(biāo)準(zhǔn)，并通過(guò)測(cè)量多種材料的有效“表觀邊緣銳度”進(jìn)行量化，建議使用其中兩種材料。這種做法需要 SEM 能夠?qū)ㄗh的材料執(zhí)行線掃描跟蹤（例如，偏轉(zhuǎn)波形生成）。這種做法有效的 SEM 放大倍數(shù)范圍為 1000 至 200 000 X。
1.2 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問(wèn)題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。

專題

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