GB/T 43965-2024
電子級(jí)正硅酸乙酯
Electronic grade ethyl orthosilicate
GBT43965-2024, GB43965-2024
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 43965-2024
- 別名
- GBT43965-2024, GB43965-2024
- 發(fā)布
- 2024年
- 總頁(yè)數(shù)
- 19頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 國(guó)家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 43965-2024
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB 15258 GB 190 GB/T 11446.1 GB/T 14193 GB/T 16804 GB/T 191 GB/T 25915.1 GB/T 26793 GB/T 2828.1 GB/T 3143 GB/T 33145 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 6680 GB/T 7144 SJ/T 11637 SJ/T 11638 TSG 23
- 適用范圍
- 本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級(jí)正硅酸乙酯的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、型式試驗(yàn)、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存的要求，描述了試驗(yàn)方法、分析方法與測(cè)定結(jié)果評(píng)價(jià)。本文件適用于沉積二氧化硅的電子級(jí)正硅酸乙酯。
| 電子級(jí)正硅酸乙酯 Electronic-grade tetraethyl orthosilicate | 用于半導(dǎo)體行業(yè)沉積二氧化硅的高純度化合物。 |
| 半導(dǎo)體行業(yè) Semiconductor Industry | 涉及微電子器件制造及相關(guān)技術(shù)研究的領(lǐng)域。 |
| 正硅酸乙酯 Tetraethyl Orthosilicate (TEOS) | 化學(xué)式為Si(OC2H5)4，用于薄膜沉積和絕緣層制備的關(guān)鍵材料。 |
GB/T 43965-2024 中提到的儀器設(shè)備
| 氣相色譜儀 火焰離子化檢測(cè)器和電子氣路控制技術(shù) | 用于測(cè)定正硅酸乙酯的純度。 |
| ICP-MS 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 SJ/T11637兼容 | 用于檢測(cè)陽(yáng)離子含量和顆粒數(shù)量。 |
專(zhuān)題
GB/T 43965-2024相似標(biāo)準(zhǔn)
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