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GSO ISO 14706:2013
表面化學(xué)分析 通過全反射 X 射線閃爍 (TXRF) 光譜對硅晶片上元素的表面污染進(jìn)行定量

Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy


標(biāo)準(zhǔn)號
GSO ISO 14706:2013
發(fā)布
2013年
發(fā)布單位
GSO
當(dāng)前最新
GSO ISO 14706:2013
 
 
適用范圍
本國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測量化學(xué)機(jī)械拋光或外延硅片表面元素污染原子表面密度的 TXRF 方法。該方法適用于: ——原子序數(shù)為16(S)至92(U)的元素; ——原子表面密度為1×1010原子/cm2至1×1014原子/cm2的污染元素; — 使用 VPD(氣相分解)樣品制備方法,原子表面密度為 5×108 個原子/cm2 至 5×1012 個原子/cm2 的污染元素(見 3.4)。

專題


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? 正文 TXRF8全反射X射線熒光分析儀

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