ISO 17973:2024
表面化學(xué)分析 中等分辨率俄歇電子能譜儀 元素分析能量標(biāo)度的校準(zhǔn)
Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- ISO 17973:2024
- 發(fā)布
- 2024年
- 發(fā)布單位
- 澳大利亞標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會
- 當(dāng)前最新
- ISO 17973:2024
- 適用范圍
- 本文件規(guī)定了一種用于校準(zhǔn)不確定度為 3 eV 的俄歇電子能譜儀動能標(biāo)度的方法，可用于一般分析中識別表面元素。本文件還規(guī)定了一種建立校準(zhǔn)計劃的方法。它適用于直接或差分模式下使用的儀器，其中分辨率小于或等于 0.5%，如果使用差分模式，則調(diào)制幅度為 2 eV 峰峰值。它適用于配備惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法以及能夠在 4 keV 或更高束流能量下工作的電子槍的光譜儀。
專題
ISO 17973:2024相似標(biāo)準(zhǔn)
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