T/IAWBS 018-2022
金剛石單晶拋光片位錯密度的測試方法

Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafers

標準號

T/IAWBS 018-2022

發(fā)布

2022年

發(fā)布單位

中國團體標準

當前最新

T/IAWBS 018-2022

 

 

適用范圍

本標準根據(jù)金剛石單晶的材料性能特點，并結合目前國內外其他單晶如藍寶石位錯密度的檢測技術的研究水平，對金剛石單晶拋光片位錯密度的測試原理、測量精度保障、測量步驟等內容做出了規(guī)定。

專題

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