SJ 2758-1987
同型外延層厚度的紅外干涉測試方法
Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers
2010-02
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- 標準號
- SJ 2758-1987
- 發(fā)布
- 1987年
- 總頁數(shù)
- 12頁
- 發(fā)布單位
- 行業(yè)標準-電子
- 當前最新
- SJ 2758-1987
本標準適用子與襯底同型外延層厚度的測量，襯底和外延層室溫電阻率應分別小于0.02Ω·cm和大于0.1Ω·cm，可測厚度大于2μm.
專題
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