激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡的區(qū)別
激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡的區(qū)別
激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡都是點源逐點掃描成像，通過控制掃描驅(qū)動范圍，調(diào)節(jié)放大倍數(shù)。激光共聚焦顯微鏡是通過激光掃描的方式工作，可以獲得三維圖像。掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面掃描時激發(fā)出來的各種物理信號來調(diào)制成像的，只能得到二維圖像，不能得到三維圖像。
1、極限分辨率不同（放大信號源不同）
激光共聚焦：極限分辨率 150nm
掃描電鏡：20nm~0.8nm
2、掃描驅(qū)動方式不同
激光共聚焦：激光轉(zhuǎn)鏡控制激光掃描范圍和掃描速度
掃描電鏡：電磁線圈控制電子束掃描范圍和掃描速度
3、立體成像不同
激光共聚焦：通過納米精度步進電機驅(qū)動樣品在Z軸方向逐層成像，軟件將設(shè)定的各層圖像合成清晰三維立體圖像
掃描電鏡： 單幀圖像具有很大景深，屬于二維圖像?
4、應用范圍不同
激光共聚焦：幾倍~ 幾千倍
掃描電鏡 ：幾倍~幾十萬倍
5、工作環(huán)境不同
激光共聚焦：可在大氣環(huán)境中測試樣品
掃描電鏡：在高真空環(huán)境下測試樣品
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