本方法采用HF和HNO3(6:2) 微波消解工業(yè)硅樣品,用ICP-AES 法同時測定工業(yè)硅中的Cu、Mn、Fe、Ni、Ti、Al、P和B等八種雜質(zhì)元素。該方法快速簡便、準(zhǔn)確率高、精密度好,對產(chǎn)品質(zhì)量控制及檢驗雜質(zhì)元素含量,具有可操作性和很好地應(yīng)用價值。