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SEM,EDS,XRD的區(qū)別

2023.2.02

SEM,EDS,XRD的區(qū)別,SEM是掃描電鏡,EDS是掃描電鏡上配搭的一個(gè)用于微區(qū)分析成分的配件——能譜儀。能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分元素種類(lèi)與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線衍射儀,是用于物相分析的檢測(cè)設(shè)備。
掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM,圖2-17、18、19)于20世紀(jì)60年 代問(wèn)世,用來(lái)觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。其工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣 品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子 束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束 的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。 目前掃描電鏡的分辨力為6~10nm,人眼能夠區(qū)別熒光屏上兩個(gè)相距0.2mm的光點(diǎn),則掃描電鏡的最大有效放大倍率為0.2mm/10nm=20000X。
EDS的原理是各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng),特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量△E,能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。使用范圍:
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無(wú)機(jī)或有機(jī)固體材料分析;
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定;
3、可對(duì)固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析,如:金屬化膜表面鍍層的檢測(cè);
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別,考古和文物鑒定,以及刑偵鑒定等領(lǐng)域;
5、進(jìn)行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、線、點(diǎn)分布分析。
X射線衍射儀是利用衍射原理,精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確的進(jìn)行物相分析,定性分析,定量分析。廣泛應(yīng)用于冶金、石油、化工、科研、航空航天、教學(xué)、材料生產(chǎn)等領(lǐng)域。

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