sem的eds和mapping什么區(qū)別
就定量來說，SEM點(diǎn)分析比線分析和面分析更準(zhǔn)確，掃描的方式不同，線分析和面分析只能定性的分析觀察視場的元素分布情況（線分析是沿著某個(gè)界面的元素分布起伏，而面分析是看整個(gè)視場的元素分布情況），點(diǎn)分析可以基本定量分析元素。
SEM/EDS是掃描電子顯微鏡和X-射線能量色散譜儀的簡稱，兩者組合使用，功能非常強(qiáng)大，既能觀察微區(qū)的形貌又能對微區(qū)進(jìn)行成分分析，在各類分析工作中被廣泛運(yùn)用。
EDS mapping時(shí)間就長的多了，尤其是如果想得到比較確定的數(shù)據(jù)的話，一個(gè)線掃就可以耗費(fèi)半個(gè)小時(shí)。EDS mapping的分辨率不僅取決于束斑尺寸，由于收集時(shí)間比較長，樣品漂移的影響更大，所以比eels mapping 差不少。
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