X射線發(fā)生器由X射線管、高壓發(fā)生器、管壓和管流穩(wěn)定電路以及各種保護(hù)電路等部分組成。

　　現(xiàn)代衍射用的X射線管都屬于熱電子管，有密封式和轉(zhuǎn)靶式兩種。前者最大的功率在2.5KW以內(nèi)，視靶材料的不同而異；后者是為獲得高強(qiáng)度X射線而設(shè)計(jì)的，一般功率在10KW以上，目前常用的有9KW、12KW和18KW幾種。

　　X射線管實(shí)質(zhì)上是一個真空二極管。工作原理：給陰極加上一定的電流被加熱時，便能放出熱輻射電子。在數(shù)萬伏特高壓電場的作用下，這些電子被加速并轟擊陽極（又被稱為靶）。陽極靶面上受電子束轟擊的焦點(diǎn)呈細(xì)長的矩形狀（稱線焦點(diǎn)或線焦斑），從射線出射窗中心射出的X射線與靶面的掠射角為3°-6°。從出射方向垂直焦斑長邊的兩個出射窗口觀察，焦斑呈線狀的稱為線光源；從另外兩個出射窗口觀察，焦斑如點(diǎn)狀稱為點(diǎn)光源。在衍射儀每次安裝管子時，必須辨別所使用X射線出射窗口是否為線焦點(diǎn)方向。此外，還要求測角儀相對于靶面平面要有適當(dāng)?shù)膬A斜角。